Materiais e processos de fabricação são abordados com foco em filmes finos, micromaquinagem e integração de silício para dispositivos MEMS. Técnicas de deposição e compatibilidade de materiais aparecem como temas centrais para desempenho e confiabilidade.

Caracterização experimental inclui métodos para medir propriedades mecânicas e elétricas em escala micrométrica, com exemplos aplicados a sensores e atuadores. Estudos de falha e envelhecimento trazem dados sobre resistência à fadiga e estabilidade dimensional.

Aplicações tecnológicas exploradas contemplam microtransdutores, sistemas de microposicionamento e componentes para microeletrônica. Capítulos apresentam discussões sobre integração com processos semicondutores e desafios de produção em escala.