Materiais e processos de microfabricação são descritos com foco em componentes para instrumentos monolíticos, incluindo propriedades de materiais e técnicas de deposição.

Análise da integração tecnológica aborda integração de circuitos, interconexões e soluções para microfluidos, destacando requisitos de compatibilidade entre materiais.

Aplicações práticas e considerações de desempenho tratam confiabilidade, tolerâncias de fabricação e métodos de ensaio relevantes para desenvolvimento de instrumentos.