Técnicas de feixes de íons são apresentadas com foco em processos de nanofabricação e modificação de superfícies. O texto abrange fundamentos físicos, parâmetros de irradiação e efeitos em materiais sólidos.

Aplicações práticas incluem litografia, dopagem localizada e criação de nanostruturas para dispositivos. Casos experimentais e resultados técnicos ilustram protocolos e limites operacionais.

Modelagem e simulação computacional aparecem como ferramentas para prever interações íon-matéria. Há também discussão sobre instrumentação e técnicas de caracterização associadas às instalações de feixe.